Օդի մաքրության մակարդակ (N) | Նշված մասնիկների չափից մեծ կամ հավասար մասնիկների առավելագույն կոնցենտրացիայի սահմանը (օդի մասնիկների քանակը/մ3) | |||||
0.1մմ | 0.2մմ | 0.3 մ | 0,5 մմ | 1.0մմ | 5.0մմ | |
ISO դաս 1 | 10 | 2 | ||||
ISO դաս 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO դաս 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO դաս 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 թ | 83 | |
ISO դաս 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 թ | 29 |
ISO դաս 6 | 1,000,000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
ISO դաս 7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
ISO դաս 8 | 3,520,000 | 832000 | 29300 | |||
ISO դաս 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293000 |
հատ/M≥0.5um | ISO 14644-1 (1999) | US 209E(1992) | US 209D (1988) | ԵՏՀ cGMP (1989) | ՖՐԱՆՍԻԱ AFNOR (1981) | ԳԵՐՄԱՆԻԱ VDI 2083 (1990) | ՃԱՊՈՆԻԱ JAOA (1989) |
1 | - | - | - | - | - | - | - |
3.5 | 2 | - | - | - | - | 0 | 2 |
10.0 | - | M1 | - | - | - | - | - |
35.3 | 3 | M1.5 | 1 | - | - | 1 | 3 |
100 | - | M2 | - | - | - | - | - |
353 | 4 | M2.5 | 10 | - | - | 2 | 4 |
1000 | - | M3 | - | - | - | - | - |
3530 | 5 | M3.5 | 100 | A+B | 4000 | 3 | 5 |
10000 | - | M4 | - | - | - | - | - |
35,300 | 6 | M4.5 | 1000 | 1000 | - | 4 | 6 |
100000 | - | M5 | - | - | - | - | - |
353000 | 7 | M5.5 | 10000 | C | 400000 | 5 | 7 |
1,000,000 | - | M6 | - | - | - | - | - |
3,530,000 | 8 | M6.5 | 100000 | D | 4,000,000 | 6 | 8 |
10,000,000 | - | M7 | - | - | - | - | - |